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光學(xué)玻璃鍍膜后發(fā)現(xiàn)邊緣白線,就在鏡片的邊緣部位,有百分之三十左右的
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提問(wèn)者:網(wǎng)友
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2018-08-19
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真空鍍膜??主要利用輝光放電(glow? ??????discharge)將氬氣(ar)離子撞擊靶材(target)表面,? ??????靶材的原子被彈出而堆積在基板表面形成薄膜。濺鍍薄膜的性質(zhì)、均勻度都比蒸鍍薄膜來(lái)的好,但是鍍膜速度卻比蒸鍍慢很多。新型的濺鍍?cè)O(shè)備幾乎都使用強(qiáng)力磁鐵將電子成螺旋狀運(yùn)動(dòng)以加速靶材周圍的氬氣離子化,? ??????造成靶與氬氣離子間的撞擊機(jī)率增加,? ??????提高濺鍍速率。一般金屬鍍膜大都采用直流濺鍍,而不導(dǎo)電的陶磁材料則使用rf交流濺鍍,基本的原理是在真空中利用輝光放電(glow? ??????discharge)將氬氣(ar)離子撞擊靶材(target)表面,電漿中的陽(yáng)離子會(huì)加速?zèng)_向作為被濺鍍材的負(fù)電極表面,這個(gè)沖擊將使靶材的物質(zhì)飛出而沉積在基板上形成薄膜。一般來(lái)說(shuō),利用濺鍍制程進(jìn)行薄膜披覆有幾項(xiàng)特點(diǎn):(1)金屬、合金或絕緣物均可做成薄膜材料。(2)再適當(dāng)?shù)脑O(shè)定條件下可將多元復(fù)雜的靶材制作出同一組成的薄膜。(3)利用放電氣氛中加入氧或其它的活性氣體,可以制作靶材物質(zhì)與氣體分子的混合物或化合物。(4)靶材輸入電流及濺射時(shí)間可以控制,容易得到高精度的膜厚。(5)較其它制程利于生產(chǎn)大面積的均一薄膜。(6)濺射粒子幾不受重力影響,靶材與基板位置可自由安排。(7)基板與膜的附著強(qiáng)度是一般蒸鍍膜的10倍以上,且由于濺射粒子帶有高能量,在成膜面會(huì)繼續(xù)表面擴(kuò)散而得到硬且致密的薄膜,同時(shí)此高能量使基板只要較低的溫度即可得到結(jié)晶膜。(8)薄膜形成初期成核密度高,可生產(chǎn)10nm以下的極薄連續(xù)膜。(9)靶材的壽命長(zhǎng),可長(zhǎng)時(shí)間自動(dòng)化連續(xù)生產(chǎn)。(10)靶材可制作成各種形狀,配合機(jī)臺(tái)的特殊設(shè)計(jì)做更好的控制及最有效率的生產(chǎn)。? ??光學(xué)鍍膜? 一、?耐磨損膜(硬膜)? 無(wú)論是無(wú)機(jī)材料還是有機(jī)材料制成的眼鏡片,在日常的使用中,由于與灰塵或砂礫(氧化硅)的摩擦都會(huì)造成鏡片磨損,在鏡片表面產(chǎn)生劃痕。與玻璃片相比,? 有機(jī)材料制成的硬性度比較低,更易產(chǎn)生劃痕。通過(guò)顯微鏡,我們可以觀察到鏡片表面的劃痕主要分為二種,一是由于砂礫產(chǎn)生的劃痕,淺而細(xì)小,戴鏡者不容易察覺;另一種是由較大砂礫產(chǎn)生的劃痕,深且周邊粗糙,處于中心區(qū)域則會(huì)影響視力。? (1)技術(shù)特征? 1)第一代抗磨損膜技術(shù)? 抗磨損膜始于20世紀(jì)70年代初,當(dāng)時(shí)認(rèn)為玻璃鏡片不易磨制是因?yàn)槠溆捕雀?,而有機(jī)鏡片則太軟所以容易磨損。因此將石英材料于真空條件下鍍?cè)谟袡C(jī)鏡片
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